1）技術(shù)參數(shù)：整機規(guī)格700mm(W)×700mm(D)×1600mm(H)腔體規(guī)格Φ230mm×210mm腔體容積8.5L電極規(guī)格外置環(huán)形電極載物規(guī)格單層，180mm×185mm（平放、懸掛均可）電源系統(tǒng)RF射頻等離子發(fā)生源，全自動阻抗匹配；13.56MHz...
1）技術(shù)參數(shù)：
整機規(guī)格 | 700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H) |
腔體規(guī)格 | Φ230mm×210mm |
腔體容積 | 8.5L |
電極規(guī)格 | 外置環(huán)形電極 |
載物規(guī)格 | 單層，180mm×185mm（平放、懸掛均可） |
電源系統(tǒng) | RF射頻等離子發(fā)生源，全自動阻抗匹配；13.56MHz |
控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC自動控制 |
真空系統(tǒng) | 抽速：6L/S |
氣路系統(tǒng) | 2路工作氣體、1路放空、1路接枝 |
工作電壓 | AC220V |
2）產(chǎn)品特點：
ü RF射頻晶體管等離子發(fā)生源，全自動阻抗匹配。
ü 柜式結(jié)構(gòu)，真空泵內(nèi)置，有效節(jié)約占地面積。
ü 萬向底輪設(shè)計，方便設(shè)備移動。
ü 高強度石英石玻璃腔體，易清潔、耐腐蝕。
ü 置物方式多樣化，可平放、可懸掛。
ü 外置環(huán)形電極，有效避免對腔體內(nèi)的污染。
ü 真彩色全中文界面觸摸屏，畫面清晰，操作方便。
ü PLC自動控制，功能齊全，所有運行參數(shù)可自行設(shè)置并監(jiān)控，主要功能包括：手動模式/自動模式任意切換、PID自動調(diào)節(jié)、自動操作、自動報警功能（如：相序異常、真空泵異常、真空泵過載、氣體報警、放空報警、電源無功率輸出報警、真空度過高報警、真空度過低報警等）、實時監(jiān)控畫面、配方管理及密碼管理功能。
3）應(yīng)用范圍：
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